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SENTECH Instruments entwickelt, produziert und verkauft wissenschaftliche Geräte und Systeme für die Dünnschichtmesstechnik und die Plasmaprozesstechnologie.
Reflektometer, Laserellipsometer und spektroskopische Ellipsometer werden zur Messung von Schichtdicke und Brechungsindex unter anderem in der Mikroelektronik, der Photovoltaik, der Glasindustrie, der Verpackungsindustrie aber auch der Forschung und Entwicklung eingesetzt.
SENTECH Instruments gehört zu den weltweit führenden Anbietern von Laser- und spektroskopischen Ellipsometern. Durch spezielle Hardware- und Softwarelösungen für Laserellipsometer ist es SENTECH gelungen, Weltmarktführer für die Ausrüstung von Fertigungslinien für Si-Solarzellen zu werden.
Automatisierte Systeme werden u.a. für die in-line Kontrolle von Beschichtungsprozessen in der Glasindustrie und die Fertigung von Mikrosystemen angeboten. SENresearch Ellipsometer mit einem breiten Spektralbereich vom UV bis zum MIR werden in der Forschung eingesetzt.
SENTECH's Plasmasysteme werden insbesondere in der Forschung aber auch der Fertigung von elektronischen, opto-elektronischen und optischen Bauelementen verwendet.
Schädigungsarmes Ätzen und Beschichten sind wesentliche Merkmale der angebotenen Plasmasysteme. Mehrkammeranlagen für die Kombination von Ätz- und Beschichtungsprozessen sowie hohen Probendurchsatz werden für die Bauelementfertigung eingesetzt.
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Eine der interessantesten erneuerbaren Energieformen, die Photovoltaik, hat heute einen Stand erreicht, dass eine weitgehende stabile Produktion der Solarzellen realisiert wird. Das betrifft sowohl die auf Siliziumwafer basierenden Zellen als auch die Dünnschichttechnologie.
Völlig unbefriedigend ist jedoch die Effizienz der Ausnutzung des Lichts, die bei den Wafern unter 20% liegt und bei der Dünnschichttechnologie weniger als 10% im Produktionsmaßstab beträgt.
An einer Verbesserung wird weltweit geforscht. Dabei geht es vor allem um ein besseres Verständnis der Materialeigenschaften und der Konstanz der technologischen Prozesse im großtechnischen Versuch. Ein Schwerpunkt liegt bei der Erforschung der Auswirkungen von Defekten im Material und deren Veränderung während des technologischen Zyklus. Es werden also Diagnostikmethoden gesucht, die möglichst berührungslos also zerstörungsfrei elektrisch wirksame Defekte erkennen und ihre Wirksamkeit hinsichtlich der Zelleneffizienz darstellen. Solche Methoden können dann auch in einem frühzeitigen Stadium zur Produktionskontrolle eingesetzt werden, um die Qualität und damit die Zelleneffizienz nach jedem technologischen Prozess zu sichern.
Auf Grund dieser Einschätzung ist eine Zusammenarbeit mit Anlagen und Geräteherstellern für Sentech Instruments von hoher Bedeutung und daher ist die Teilnahme an dem Netzwerk so wichtig, um von Anfang an in der Wertschöpfungskette präsent zu sein.
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